保證微型真空燒結爐實現高真空度的措施有兩點，極限真空度和最大漏率極限。這兩點是真空設備的兩項重要指標，也是熱壓燒結爐正常運行的基本條件。影響最大漏率的因素有爐體的制造精度、爐體材料、密封材料、絕緣材料等。所以，應選擇漏率極低的材料作為主導材料，選擇密封性好的閥門，抽氣效率高的真空泵等。
 

　　微型真空燒結爐總放氣率系指材料的放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發(fā)、焊縫夾層內氣體的滲透，以及真空系統(tǒng)中工作介質的逆流和逆擴散等放氣的總和。其中材料的放氣率是影響真空度的最大因素。該爐中的材料包括：發(fā)熱元件、保溫材料、密封件、模具、制品的原材料等。就放氣率而言，在這些材料中保溫材料所占比重最大。在該爐中選擇金屬鉬片和石墨氈作為保溫材料，在高溫中放氣率極低。密封件材料選擇硅橡膠。
 

　　目前常用的發(fā)熱元件材料一般為鉬、鎢和石墨等。這幾種發(fā)熱材料必須在較高的真空度和有保護性氣氛的條件下才能正常工作。隨著爐內溫度的升高，爐內各種材料如發(fā)熱體、保溫材料、模具、被制備的原材料等有一個去氣和蒸發(fā)的過程，使真空度下降，影響發(fā)熱元件的壽命。所以，一般采用抗氧化的高純石墨制作發(fā)熱元件。
 

　　微型真空燒結爐被制備的材料要獲得一定的壓合成型力，外來的機械力要通過密閉的爐體，首先要考慮的是機械動密封問題。這種機械動密封裝置必須滿足兩個條件：正壓、負壓時均能維持極限真空。